Atomic layer deposition applications 5 : [Fifth Symposium on Atomic Layer Deposition was held on October 5 till 7, 2009 in Vienna, Austria as part of the 216th meeting of the Electrochemical Society]

Atomic layer deposition applications 5 [Fifth Symposium on Atomic Layer Deposition was held on October 5 till 7, 2009 in Vienna, Austria as part of the 216th meeting of the Electrochemical Society]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Gendt, S. de (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2009
Schriftenreihe:ECS transactions 25,4
Schlagworte:
Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 411 S.
ISBN:9781566777414
978-1-56677-741-4