Special section on theory and practice of MEMS/NEMS/MOEMS, RF MEMS, and BioMEMS [... Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technologies ... selected papers from the fourth APCOT conference held during June 2008 in Tainan, Taiwan]
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
Society of Photooptical Instrumentation Engineers
2009
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| Schriftenreihe: | Journal of micro/nanolitography, MEMS, and MOEMS
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