Special section on theory and practice of MEMS/NEMS/MOEMS, RF MEMS, and BioMEMS [... Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technologies ... selected papers from the fourth APCOT conference held during June 2008 in Tainan, Taiwan]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
Society of Photooptical Instrumentation Engineers
2009
|
| Schriftenreihe: | Journal of micro/nanolitography, MEMS, and MOEMS
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Tag hinzufügen | Beschreibung: | Getr. Zählung Ill., graph. Darst |
|---|