Silicon nitride surface passivation

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Myers, T. R. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Chicago, Ill. IIT Research Inst. 1969
Schriftenreihe:	Technical monograph / Reliability Analysis Center 69,2
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