Anwendung innovativer opto-mikromechanischer Messtechniken in der industriellen Praxis, im Verbundvorhaben: IOMM - Innovative opto-mikromechanische Messtechniken, zum Schwerpunktthema "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen: Messtechnik für Mikromaterialeigenschaften, 3D-Mikromesstechnik und Positionierung (MSTPrüf)" im Rahmen des Programms "Mikrosysteme 2004 - 2009" : Abschlussbericht für das Teilvorhaben ; Projektlaufzeit: 01. April 2005 - 30. September 2008

Anwendung innovativer opto-mikromechanischer Messtechniken in der industriellen Praxis, im Verbundvorhaben: IOMM - Innovative opto-mikromechanische Messtechniken, zum Schwerpunktthema "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen: Messtechnik für Mikromaterialeigenschaften, 3D-Mikromesstechnik und Positionierung (MSTPrüf)" im Rahmen des Programms "Mikrosysteme 2004 - 2009" Abschlussbericht für das Teilvorhaben ; Projektlaufzeit: 01. April 2005 - 30. September 2008

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Engelke, Rainer (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin Micro resist technology GmbH 2008
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrooptik > Mikromechanik > Messsystem > Dreidimensionale Bildverarbeitung
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV1896. - Verbund-Nr. 01035667
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:20 Bl.
Ill., graph. Darst.