Modeling aspects in optical metrology II : 15 - 16 June 2009, Munich, Germany

Modeling aspects in optical metrology II 15 - 16 June 2009, Munich, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: SPIE, The International Society for Optical Engineering Europe (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bosse, Harald (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2009
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7390
Schlagworte:
Optical measurements > Integrated circuits > Semiconductors > Design and construction > Konferenzschrift > Optische Messtechnik > Metrologie > Modellierung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 420 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819476739
978-0-8194-7673-9