Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMS

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Mikro-Nano-Integration
Weitere Verfasser:	Kremin, Christoph (BerichterstatterIn), Leopold, S. (BerichterstatterIn), Stubenrauch, Mike (BerichterstatterIn), Hoffmann, Martin (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2009
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