25th European Mask and Lithography Conference : 12 - 15 January 2009, Dresden, Germany

25th European Mask and Lithography Conference 12 - 15 January 2009, Dresden, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2009
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7470
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Microlithography > Konferenzschrift > Maske > Lithografie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 430 S.]
ISBN:9780819477705
978-0-8194-7770-5