The proceedings of the 1st International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2008)

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Yeom, Geun-Young (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	St. Louis, Mo. u.a. Elsevier 2009
Schriftenreihe:	Thin solid films 517.2009,14
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikroelektronik > Plasmatechnik
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Beschreibung
Beschreibung:	IX S., S. 3825 - 4275 Ill., graph. Darst