Nanomeasuring and nanopositioning technology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Jäger, Gerd (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Oldenbourg 2009
Schriftenreihe:	International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Pt. 1
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