Nanomeasuring and nanopositioning technology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Jäger, Gerd (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: München Oldenbourg 2009
Schriftenreihe:International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Pt. 1
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Beschreibung
Beschreibung:S. 225 - 280
Ill., graph. Darst.