Magnetronsputtern von hochleitfähigen ZnO:Al-Schichten für die Photovoltaik

Zugl.: Gießen, Univ., Diss., 2008

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ruske, Florian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Fraunhofer-IRB-Verl. 2009
Schriftenreihe:	Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik 29
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Dünnschichtsolarzelle > Silicium > Transparent-leitendes Oxid > Zinkoxid > Reaktives Sputtern > Magnetronsputtern
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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