Micro- and nanotechnology: materials, processes, packaging, and systems IV 10 - 12 December 2008, Melbourne, Australia ; [Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems Conference ... part of ... SPIE 2008 Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems Symposium]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Royal Melbourne Institute of Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Chiao, Jung-Chih (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2008
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7269
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 260 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819475213
978-0-8194-7521-3