Micro- and nanotechnology: materials, processes, packaging, and systems IV 10 - 12 December 2008, Melbourne, Australia ; [Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems Conference ... part of ... SPIE 2008 Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems Symposium]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2008
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Schriftenreihe: | Proceedings of SPIE
7269 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | Getr. Zählung [ca. 260 S.] Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 9780819475213 978-0-8194-7521-3 |