Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX UCPSS 2008 ; 9th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), held in Bruges, Belgium, September 22 - 24, 2008

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mertens, Paul (BerichterstatterIn), Meuris, Marc (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Stafa-Zurich u.a. ttp, Trans Tech Publ. 2009
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data / B 145/146
Schlagworte:	Semiconductors > Surfaces > Konferenzschrift > Halbleiter > Oberflächenreinigung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!