Verbundprojekt: Technologien und Anwendungen planarer optischer Elemente - Fota, Teilvorhaben: Elektronenstrahllithographische Herstellung mikrooptischer Elemente Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.04.1994 bis 30.09.1996

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Friedrich-Schiller-Universität Jena Institut für Angewandte Physik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena ca. 1996
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