Verbundprojekt: Technologien und Anwendungen planarer optischer Elemente - Fota, Teilvorhaben: Elektronenstrahllithographische Herstellung mikrooptischer Elemente Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.04.1994 bis 30.09.1996
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Körperschaft: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Jena
ca. 1996
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