Verbundprojekt: Technologien und Anwendungen planarer optischer Elemente - Fota, Teilvorhaben: Elektronenstrahllithographische Herstellung mikrooptischer Elemente : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.04.1994 bis 30.09.1996

Verbundprojekt: Technologien und Anwendungen planarer optischer Elemente - Fota, Teilvorhaben: Elektronenstrahllithographische Herstellung mikrooptischer Elemente Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.04.1994 bis 30.09.1996

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Friedrich-Schiller-Universität Jena Institut für Angewandte Physik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena ca. 1996
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV017 / 0. - Verbund-Nr. 52400093
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Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:[13] Bl.
Ill., graph. Darst.