Silicon devices and process integration deep submicron and nano-scale technologies

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kareh, Badih el- (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: El-Kareh, Badih (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY Springer 2009
Schlagworte:
Online Zugang:Rezension 1
Cover
Kapitel 1
Einführung/Vorwort
Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XXV, 597 S.
graph. Darst.
ISBN:0387367985
0-387-36798-5
9780387367989
978-0-387-36798-9