Silicon devices and process integration deep submicron and nano-scale technologies
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York, NY
Springer
2009
|
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Rezension 1 Cover Kapitel 1 Einführung/Vorwort Inhaltsverzeichnis |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Beschreibung: | Literaturangaben |
---|---|
Beschreibung: | XXV, 597 S. graph. Darst. |
ISBN: | 0387367985 0-387-36798-5 9780387367989 978-0-387-36798-9 |