Plasma processing 17 : [papers presented at the International Symposium on Plasma Processing] ; at the 213th ECS meeting ; May 18 - 23, 2008, Phoenix, Arizona, USA

Plasma processing 17 [papers presented at the International Symposium on Plasma Processing] ; at the 213th ECS meeting ; May 18 - 23, 2008, Phoenix, Arizona, USA

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Mathad, G. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Red Hook, NY Curran 2008
Schriftenreihe:ECS transactions 13,8
Schlagworte:
Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:79 S.
ISBN:9781605606439
978-1-60560-643-9