Formation of buried layers of (SiC)1-x(AlN)x in 6H-SiC using ion-beam synthesis

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Materials modification and synthesis by ion beam processing
Weitere Verfasser:	Yankov, Rossen A. (BerichterstatterIn), Hatzopoulos, N. (BerichterstatterIn), Fukarek, Wolfgang (BerichterstatterIn), Voelskow, Matthias (BerichterstatterIn), Heera, Viton (BerichterstatterIn), Pezoldt, Jörg (BerichterstatterIn), Skorupa, Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1997
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