Buried melting in germanium implanted silicon by millisecond flash lamp annealing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters
Weitere Verfasser:	Voelskow, Matthias (BerichterstatterIn), Yankov, Rossen (BerichterstatterIn), Skorupa, Wolfgang (BerichterstatterIn), Pezoldt, Jörg (BerichterstatterIn), Kups, Thomas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
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