Herstellung großflächiger Nanostrukturen mittels Interferenzlithographie

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Moormann, Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2008
Schriftenreihe:	Berichte aus der Elektrotechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Interferenzlithografie > Nanostruktur
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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