Investigation of the chemical composition profile of SiGe/Si(001) islands by analytical transmission electron microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters
Weitere Verfasser:	Schade, Martin (BerichterstatterIn), Heyroth, Frank (BerichterstatterIn), Syrowatka, Frank (BerichterstatterIn), Leipner, Hartmut S. (BerichterstatterIn), Boeck, Torsten (BerichterstatterIn), Hanke, Michael (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2007
Schlagworte:
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Beschreibung
ISSN:	0003-6951