Verbundprojekt Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente : Teilvorhaben: Generische Zugriffskonzepte auf maskenrelevante Datenquellen ; Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.10.03 - 30.09.2007

Verbundprojekt Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente Teilvorhaben: Generische Zugriffskonzepte auf maskenrelevante Datenquellen ; Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.10.03 - 30.09.2007

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schottler, Martin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart M+W Zander Facility Engineering 2008
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01M3154E. - Verbund-Nr. 01024384. - Die Vorlage enth. insgesamt 2 Werke
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:31, 45 Bl.
Ill., graph. Darst.