Proceedings of the International Symposium on Dry Process (DPS 2005) Jeju, Korea, November 28 - 30, 2005

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Symposium on Dry Process (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Fujiwara, N. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2007
Schriftenreihe:	Thin solid films 515.2007,12
Schlagworte:	Konferenzschrift > Trockenätzen > Oberflächenbehandlung
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	VII S., S. 4844 - 5201 Ill., graph. Darst.