Proceedings of the Twelth European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2008, March 2 - 5, 2008, Dresden, Germany MAM2008, a single-session workshop devoted to materials research, materials properties and interactions
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2008
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
85.2008,10 |
| Schlagworte: | |
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|---|---|
| Beschreibung: | VIII S., S. 1937 - 2190 Ill., graph. Darst |