Ion implantation technology 2008 17th International Conference on Ion Implantation Technology, IIT 2008, Monterey, California, 8 - 13 June 2008

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Ion Implantation Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Seebauer, Edmund G. (BerichterstatterIn), Kondratenko, Yevgeniy V. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Melville, NY American Inst. of Physics 2008
Schriftenreihe:AIP conference proceedings 1066
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Abstracts
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Beschreibung
Beschreibung:XVII, 556 S
Ill., graph. Darst
279 mm x 216 mm
ISBN:9780735405974
978-0-7354-0597-4