Ion implantation technology 2008 17th International Conference on Ion Implantation Technology, IIT 2008, Monterey, California, 8 - 13 June 2008
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Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Melville, NY
American Inst. of Physics
2008
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Schriftenreihe: | AIP conference proceedings
1066 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Abstracts |
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Beschreibung: | XVII, 556 S Ill., graph. Darst 279 mm x 216 mm |
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ISBN: | 9780735405974 978-0-7354-0597-4 |