Collection of papers presented at the DTIP of MEMS & MOEMS : Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS ; 9 - 11 April 2008, Nice, France ; [including the Conference on CAD, Design and Test and the Conference on Microfabrication, Integration and Packaging]

Collection of papers presented at the DTIP of MEMS & MOEMS Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS ; 9 - 11 April 2008, Nice, France ; [including the Conference on CAD, Design and Test and the Conference on Microfabrication, Integration and Packaging]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Institut National Polytechnique (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bright, Victor M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Grenoble CMP 2008
Schlagworte:
Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik
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Beschreibung
Beschreibung:Weitere Ausg. bei IEEE, Piscataway, NJ erschienen
Beschreibung:XIV, 392 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9782355000065
978-2-35500-006-5