Abschlussbericht zum Teilvorhaben: "Evaluierung von Messequipment zur Erfassung zuverlässigkeitsrelevanter Parameter bei mechanisch schwingenden Mikrosystemen mit Membranstrukturen - MESSMEM" des Projektes: "Mess- und Prüftechnik zur Bestimmung von fertigungsrelevanten Parametern von Mikrosystemen auf Waferebene - PAR-TEST"
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| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Erfurt
CiS Institut für Mikrosensorik GmbH
2008
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16SV1937. - Verbund-Nr. 01034288 - V 3MPT 048. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Concept and evaluation of water level reliability test equipment for mechanical oscillating micro systems for the example membrane structures MESSMEM, sub project of project PAR-TEST: measurement and test engineering to determine the production related parameter of micro systems at wafer level Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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| Beschreibung: | [ca. 120] S. Ill., graph. Darst. |