Partial cavity filling in thermal nanoimprint
Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 2008
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Tönning u.a.
Der Andere Verl.
2008
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Schriftenreihe: | Mikro- und Nanostrukturierung
3 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Zusammenfassung: | Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 2008 |
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Beschreibung: | XVI, 119 S. 18 schw.-w. Ill., 36 farb. Ill., 3 schw.-w. Tab 210 mm x 150 mm |
ISBN: | 9783899597806 978-3-89959-780-6 |