Microprocesses & nanotechnology [the 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007) was held in ... Kyoto, Japan, last November 6 to 8, 2007]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Itani, Toshiro (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Japan Society of Applied Physics 2008
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics 47.2008,6,2
Schlagworte:	Konferenzschrift > Nanotechnologie > Mikromechanik
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