Polymer elasticity effects during thermal nanoimprint part I: Experimental evidence and simulation, part II: Analysis with respect to imprint

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Scheer, Hella-Christin (BerichterstatterIn), Bogdanski, Nicolas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tönning u.a. Der Andere Verl. 2008
Schriftenreihe:	Mikro- und Nanostrukturierung 2
Schlagworte:	Nanoprägen > Thermoplast > Elastizität > Temperaturabhängigkeit > Verarbeitungstemperatur
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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