Verbundprojekt: "Abbildungsmethoden für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD)" Abschluss-Bericht ; BMBF-Verbundprojekt ABBILD ; Abschlussbericht IMS ; Laufzeit: 1.10.2003 - 31.12.2007

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Institut für Mikroelektronik Stuttgart (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Butschke, Jörg (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart 2008
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01 M 3154F. - Verbund-Nr. 01024384. - Literaturverz
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:86 S.
Ill., graph. Darst.