Verbundprojekt: "Abbildungsmethoden für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD)" Abschluss-Bericht ; BMBF-Verbundprojekt ABBILD ; Abschlussbericht IMS ; Laufzeit: 1.10.2003 - 31.12.2007
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Stuttgart
2008
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 01 M 3154F. - Verbund-Nr. 01024384. - Literaturverz Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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Beschreibung: | 86 S. Ill., graph. Darst. |