AlGaN/GaN-based MEMS with two-dimensional electron gas for novel sensor applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi / C
Weitere Verfasser:	Niebelschütz, Florentina (BerichterstatterIn), Cimalla, Volker (BerichterstatterIn), Tonisch, Katja (BerichterstatterIn), Haupt, Christian (BerichterstatterIn), Brückner, Klemens (BerichterstatterIn), Stephan, Ralf (BerichterstatterIn), Hein, Matthias (BerichterstatterIn), Ambacher, Oliver (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:
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