Automatic inspection of the width and gap of etching transistors in TFT-LCD panels using sub-pixel accuracy estimation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:The international journal of advanced manufacturing technology
Weitere Verfasser: Lin, Chern-Sheng (BerichterstatterIn), Tsai, Chia-Wen (BerichterstatterIn), Lu, Ying-Cherng (BerichterstatterIn), Tsou, Chingfu (BerichterstatterIn), Chang, Su-Chi (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2007
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Beschreibung
Beschreibung:Ill., graph. Darst.
ISSN:0268-3768