Principle and applications of MEMS a review

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of manufacturing technology and management
1. Verfasser:	Mahalik, N. P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:	Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Ill., graph. Darst.
ISSN:	1368-2148