Bulk micromachining for SOI based microsystems using double side XeF2 etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of manufacturing technology and management
1. Verfasser:	Bhaskar, Avinash K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Packirisamy, Muthukumaran (VerfasserIn), Bhat, Rama B. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:	Mikrosystemtechnik > Optoelektronik-Industrie > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Ill., graph. Darst.
ISSN:	1368-2148