Thin film materials, processes, and reliability [papers ... presented in the Symposium "Thin Film Materials, Processes, and Relibility" ; at the 211th ECS meeting ; May 6 - 10, 2007, Chicago, Illinois, USA]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2007
Schriftenreihe:	ECS transactions 6,12
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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