ULSI process integration 5 [papers ... presented at the Fifth Symposium on ULSI Process Integration held in Washington, DC at the 212th meeting of the Electrochemical Society, October 7 - 12, 2007]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Claeys, C. L. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 2007
Schriftenreihe:	ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 11,6
Schlagworte:	Integrated circuits > Ultra large scale integration > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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