Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren MICROCOMP ; Abschlussbericht zum Verbundprojekt

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	micro resist technology GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Engelke, Rainer (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin u.a. ca. 2007
Schlagworte:	Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > Polymerfilm
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