Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren : MICROCOMP ; Abschlussbericht zum Verbundprojekt

Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren MICROCOMP ; Abschlussbericht zum Verbundprojekt

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: micro resist technology GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Engelke, Rainer (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin u.a. ca. 2007
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > Polymerfilm
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV1745/51. - Verbund-Nr. 01023183
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:304 S.
Ill., graph. Darst.