Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses

Kiel, Univ., Diss., 2007

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schwarzelbach, Oliver (VerfasserIn)
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2007
Schlagworte:	Hochschulschrift
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