Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses

Kiel, Univ., Diss., 2007

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schwarzelbach, Oliver (VerfasserIn)
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2007
Schlagworte:
Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Kiel, Univ., Diss., 2007
Beschreibung:151 S.
Ill., graph. Darst.