Beiträge zur Regelung des Czochralski-Kristallzüchtungsprozesses zur Herstellung von Verbindungshalbleitern

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Winkler, Jan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2007
Schriftenreihe:	Berichte aus der Steuerungs- und Regelungstechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Drei-Fünf-Halbleiter > Czochralski-Verfahren > Prozesssteuerung > Reglerentwurf > Beobachter > Prozessmodell
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