Thermisch gespritzte Permanentmagnetschichten
Die Miniaturisierung magnetischen Aktoren ist eine Herausforderung an die Herstellung strukturierbarer magnetischer Schichten mit hoher Energiedichte und Dicken zwischen 20 [my]m und 1.000 [my]m, die mit kommerziell verfügbaren Technologien (z.B. Sputtertechniken) nicht oder nur mit großem Aufwand h...
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| Veröffentlicht in: | Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik (7 : 2007 : Chemnitz) Tagungsband zur 7. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" und zum 10. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz |
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| Weitere Verfasser: | , , , |
| Pages: | 7 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
2007
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Die Miniaturisierung magnetischen Aktoren ist eine Herausforderung an die Herstellung strukturierbarer magnetischer Schichten mit hoher Energiedichte und Dicken zwischen 20 [my]m und 1.000 [my]m, die mit kommerziell verfügbaren Technologien (z.B. Sputtertechniken) nicht oder nur mit großem Aufwand herstellbar sind. Die höchsten Energirdichten sind mit NdFeB-Magneten erreichbar. - Thermische Spritzverfahren sind für die Herstellung hoch qualitiver, dicker Schichten zwar prädestiniert, allerdings waren bisher publizierte Versuche zum thermischen Spritzen von NdFeB-Schichten (DC-VPS) nicht Erfolg versprechend, da die magnetischen Eigenschfaten gegenüber dem Ausgangspulver drastisch schlechter waren, was auf thermisch und chemisch bedingte Umwandlungen der hartmagnetischen Nd2Fe14B-Phase im Spritzprozess zurück geführt wird. - Das induktiv gekoppelte Hochfrequenzplasma (ICP) bietet wegen seiner besonderen Eigenschaften die Möglichkeit, wesentliche Bedingungen, insbesobndere bei der Verformung und Abkühlung der Partikel auf dem Substrat gegenüber anderen Technologien zu verändern. So ist es im FG POT an der TU Ilmenau gelungen, mit dem ICP in Inertgas- und Grobvakuum-Atmosphäre dicke NdFeB-Schichten mit guten magnetischen Eigenschaften, geringer Porosität und guter Haftung herzustellen. Die magnetischen Kennwerte liegen dabei parameterabhängig bei Hmax= 230 kA/m bzw. Bmax=330 mT bis 490 mT. - Die Ergebnisse legen nahe, dass es durch Variation der Parameter, insbesondere des Reaktordruckes möglich ist, Schichetn mit einstellbaren Eigenschaften herzustellen. Eine erste Anwendung in neuartigen, minaturisierten Magnetventilen wird gegnwärtig vorbereitet. |
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| ISBN: | 9783000215865 |