Radio frequency power in plasmas 17th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Clearwater, Florida, 7 - 9 May 2007

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Ryan, Philip M. (BerichterstatterIn), Rasmussen, David A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Melville, NY American Inst. of Physics 2007
Schriftenreihe:AIP conference proceedings 933
Schlagworte:
Online Zugang:Abstracts
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Beschreibung
Beschreibung:Sponsoring organization: American Physical Society
Beschreibung:XV, 527 S
Ill., graph. Darst
ISBN:9780735404441
978-0-7354-0444-1