Radio frequency power in plasmas 17th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Clearwater, Florida, 7 - 9 May 2007
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Melville, NY
American Inst. of Physics
2007
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Schriftenreihe: | AIP conference proceedings
933 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Abstracts |
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Beschreibung: | Sponsoring organization: American Physical Society |
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Beschreibung: | XV, 527 S Ill., graph. Darst |
ISBN: | 9780735404441 978-0-7354-0444-1 |