Verbundprojekt: New generation interconnection technology - NegIT, Teilvorhaben: Materialentwicklung für die Strukturierung optischer Wellenleiter Schlussbericht zum BMBF Vorhaben 16SV1819 ; Projektlaufzeit 01.01.2003 - 31.12.2006

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Pfeiffer, Karl (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Micro Resist Technology GmbH 2007
Schlagworte:	Forschungsbericht
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