Verbundprojekt: New generation interconnection technology - NegIT, Teilvorhaben: Materialentwicklung für die Strukturierung optischer Wellenleiter Schlussbericht zum BMBF Vorhaben 16SV1819 ; Projektlaufzeit 01.01.2003 - 31.12.2006
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Berlin
Micro Resist Technology GmbH
2007
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Beschreibung: | Verbund-Nr. 01023179. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: New generation interconnection technology - NegIT, project: Material development for the structuring of optical waveguides Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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Beschreibung: | 20 Bl. Ill., graph. Darst. |