Verbundprojekt: New generation interconnection technology - NegIT, Teilvorhaben: Materialentwicklung für die Strukturierung optischer Wellenleiter Schlussbericht zum BMBF Vorhaben 16SV1819 ; Projektlaufzeit 01.01.2003 - 31.12.2006

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Pfeiffer, Karl (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin Micro Resist Technology GmbH 2007
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Beschreibung
Beschreibung:Verbund-Nr. 01023179. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: New generation interconnection technology - NegIT, project: Material development for the structuring of optical waveguides
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:20 Bl.
Ill., graph. Darst.