Entwicklung einer Systematik zur Modellierung oberflächenabhängiger Funktionseigenschaften

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Engelmann, Bastian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2007
Schriftenreihe:	Berichte aus der Produktionstechnik 2007,23
Schlagworte:	Hochschulschrift > Technische Oberfläche > Oberflächenstruktur > Oberflächeneigenschaft > Kennzahl > Modellierung > Vorgehensmodell > Wafer > Silicium > Titan > Dünne Schicht > Verbundverhalten > Prognosemodell
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
Beschreibung:	IV, 140 S. Ill., graph. Darst. 21 cm
ISBN:	3832265589 3-8322-6558-9 9783832265588 978-3-8322-6558-8