Measuring large areas by white light interferometry at the nanopositioning and nanomeasuring machine (NPMM)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Computer science meets automation ; Vol. 2
Weitere Verfasser:	Kapusi, Daniel (BerichterstatterIn), Machleidt, Torsten (BerichterstatterIn), Franke, Karl-Heinz (BerichterstatterIn), Manske, Eberhard (BerichterstatterIn), Jahn, Rainer (BerichterstatterIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2007
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Beschreibung
Beschreibung:	Seitenzählung nicht identisch mit Online-Ausg., Inhalt identisch mit Online-Ausg. S. 257-262 Parallel als Online-Ausg. erschienen unter der Adresse http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=8885